ИК-Фурье спектрометр ФСМ1201П
Специализированный ИК-Фурье спектрометр ФСМ1201П представляет собой специализированный автоматизированный измерительный комплекс на основе универсального Фурье-спектрометра ФСМ1201.Он снабжён двухкоординатным измерительным столом и позволяет в автоматическом режиме измерять параметры кремниевых пластин в заданных оператором точках для пластин диаметром до 200 мм.Процесс получения спектров, их обработка и контроль за перемещением пластины полностью автоматизированы. Маршрут перемещения выбирается из стандартных конфигураций (1, 5 и 9 точек) или задается оператором. Результаты измерений автоматически протоколируются и заносятся в базу данных. Основные контролируемые параметры: Концентрация междоузельного кислорода; Толщина эпитаксиальных слоев кремниевых структур типа n-n+ и p-p+; Концентрация фосфора в слоях ФСС и бора/фосфора в слоях БФСС. Особенности: Высокая чувствительность. Рекордное в сравнении с обычными ИК спектрометрами отношение сигнал/шум позволяет на порядок снизить порог обнаружения контролируемых примесей и повысить точность определения концентрации. Высокая производительность. Время получения спектра при разрешениях и фотометрической точности, соответствующих требованиям стандартов, не превышает 15...20 сек. Это делает возможным сплошной контроль пластин и структур в процессе производства, а также позволяет исследовать неоднородность пластин измеряя распределения контролируемого параметра. Достоверность анализа. Анализ и идентификация спектров осуществляются автоматически с использованием библиотек стандартных спектров, включаемых в базу данных спектрометра. Снижается вероятность субъективных ошибок оператора. Бесконтактность измерений. В процессе измерений отсутствуют механические воздействия на поверхность пластины. Автоматизация измерений. Manba: https://www.nv-lab.ru/catalog_info.php?ID=4889
- Параметр: Значение
- Спектральный диапазон, см-1: 400…7800
- Спектральное разрешение, см-1: 1, 2, 4
- Диаметр светового пятна на образце, мм: 6
- Размеры пластин, мм: 76, 100, 125, 150, 200
- Точность позиционирования стола, мм: 0,5
- Питание, В/Гц: 220/50
- Потребляемая мощность, Вт, не более: 95
- Габариты, мм, не более: 670×650×250
- Масса, кг, не более: 37
- Время измерения, сек: 30…60